本发明提供一种高频匹配系统的阻抗调整方法，即使在使用可变频率方式的高频电源的情况下也能够进行使用特性参数的阻抗匹配。本发明的阻抗调整装置适用于使用可变频率方式的高频电源的高频电力供给系统。以可变电容器的位置信息(C)与高频电源的输出频率信息(F)的组合的一部分为对象的特性参数存储在存储器中。T参数获取部获取与现在时刻的(Cnow，Fnow)对应的特性参数。输出反射系数运算部运算输出端的反射系数。目标信息指定部基于上述信息和目标输入反射系数，指定使输出端的反射系数接近目标输入反射系数的目标组合信息。根据该信息进行阻抗匹配。