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公开(公告)号：CN115088054A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202080096550.1
申请日：2020-12-23
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01J37/32 , H01L21/683 , H03H7/40
摘要： 本申请提供用于处理定位于基板支撑组件上的基板的方法和设备。例如，基板支撑组件包括：静电吸盘，静电吸盘具有嵌入其中的一个或多个吸附电极，一个或多个吸附电极用于将基板吸附至静电吸盘的基板支撑表面；边缘环，边缘环设置在静电吸盘上且围绕基板支撑表面；两个或更多个射频(RF)功率源、以及设置在静电吸盘下方的基底板或设置在静电吸盘中的电极中的至少一个，所述两个或更多个射频(RF)功率源耦接到边缘环；匹配网络，匹配网络将边缘环耦接到两个或更多个RF功率源；以及RF电路，RF电路将边缘环耦接到两个或更多个RF功率源，RF电路经配置以同时调谐两个或更多个RF功率源的各个信号的RF振幅或RF相位中的至少一个。
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公开(公告)号：CN111585583B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202010300280.3
申请日：2016-12-28
申请人： 派赛公司
摘要： 一种灵活的多路RF适应性调谐网络开关架构，其抵消了尤其是在基于载波聚合的无线电系统中由于耦接的RF频带滤波器的各种组合引起的阻抗失配情况。在一个版本中，数控可调谐匹配网络耦接到多路RF开关以便为RF频带滤波器的各种组合提供适应性阻抗匹配。可选地，一些或全部RF频带滤波器还包括相关联的数控滤波器预匹配网络以进一步改善阻抗匹配。在第二版本中，耦接到多路RF开关的一些或全部RF频带滤波器包括数控相位匹配网络以提供必要的每频带阻抗匹配。可选地，数控可调谐匹配网络也可以被包括在多路RF开关的公共端口上以提供额外的阻抗匹配能力。
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公开(公告)号：CN114465593A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202111657645.9
申请日：2021-12-30
申请人： 深圳市恒运昌真空技术有限公司
IPC分类号： H03H7/40
摘要： 本申请提出一种双频匹配器的阻抗匹配方法及双频匹配器，该方法包括：获取低频输入端的第一驻波比和高频输入端的第二驻波比；若第一驻波比不满足第一条件，和/或，第二驻波比不满足第二条件，则获取低频输入端的第一阻抗和高频输入端的第二阻抗；获取双频匹配器的负载阻抗；根据第一阻抗、第二阻抗和负载阻抗计算出用于调节双频匹配器中的电容的第一数据；根据第一数据对低频部分中的低频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现低频部分的阻抗匹配；根据第一数据对高频部分中的高频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现高频部分的阻抗匹配。本申请实现了自动阻抗匹配。
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公开(公告)号：CN114070229A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202010762606.4
申请日：2020-07-31
申请人： 瑞昱半导体股份有限公司
IPC分类号： H03H7/40
摘要： 本公开的实施例涉及决策反馈均衡器以及相关控制方法。一种决策反馈均衡器，用以根据输入信号产生决策输出信号，包含：前馈均衡器、反馈均衡器以及权重系数控制单元。该前馈均衡器包含有多个抽头延迟线，并受控于一组第一权重系数。该反馈均衡器包含有多个抽头延迟线，并受控于一组第二权重系数。该权重系数控制单元用以选择性地调整该一组第一权重系数中的至少一者，以及确定针对该一组第二权重系数中的至少一者的一组第一边界值。当该一组第二权重系数中的至少一者不超过该一组第一边界值时，该权重系数控制单元递增该一组第一权重系数中的至少一者。
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公开(公告)号：CN107078703B
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN201580060398.0
申请日：2015-09-23
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 雷·帕克赫斯特
摘要： 本文公开的实施例一般地涉及用于在比如便携式电话的设备中进行阻抗匹配和谐波控制的功率放大器匹配电路。在一个示例中，功率放大器匹配电路包括两个DVC、四个电感器、晶体管和电容器。利用两个DVC，电路的阻抗匹配比和中心频率能够根据需要进行调节。此外，包含两个DVC还可以防止谐波频率不期望地通过功率放大器匹配电路传送到便携式设备的天线。所述功率放大器匹配电路可以与放大器结合使用，其中放大器的输出与电路中的电流成比例。
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公开(公告)号：CN108028626B
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN201580082784.X
申请日：2015-09-17
申请人： 三星电子株式会社
摘要： 本发明涉及用于自动地调整多输入端口和多输出端口调谐单元(例如，耦合到同时使用多个天线的无线电收发器的天线的多输入端口和多输出端口调谐单元)的方法。本发明还涉及使用该方法的自动调谐系统。自动调谐系统具有4个用户端口(712)(722)(732)(742)和4个目标端口(911)(921)(931)(941)，并包括：4个感测单元(9)；信号处理单元(8)，该信号处理单元使用对于施加到用户端口的4个激励获得的感测单元输出信号，估计取决于由目标端口看到的阻抗矩阵的实量，该信号处理单元传送调谐指令；多输入端口和多输出端口调谐单元(3)，包括可调整阻抗装置；和调谐控制单元(4)，接收调谐指令和传送调谐控制信号到多输入端口和多输出端口调谐单元，可调整阻抗装置的每一个的电抗主要由一个或多个调谐控制信号确定。
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公开(公告)号：CN107004507B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201480081471.8
申请日：2014-09-04
申请人： 康姆艾德公司
摘要： 公开了一种功率电容器(7)，其用于RF功率发送系统。所述功率电容器包括至少两个被包括固体顺介电材料的电容器电介质(17)分开的RF电极(18、19)，所述固体顺介电材料的相对介电常数可通过改变在DC偏压电极(10、26、28)处施加于所述电介质(17)上的DC偏压来控制。还公开了复合电容器配置、RF功率系统及控制所述功率电容器的方法。
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公开(公告)号：CN108141191B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201680061576.6
申请日：2016-08-23
申请人： 加利福尼亚大学董事会
IPC分类号： H03H7/40
摘要： 本发明提供一种使用近磁场进行通信的体域网。第一线圈配置为被穿戴在人的身体部位上。发射器驱动所述第一线圈以通过第一磁性线圈产生磁性身体场。第二线圈耦合到经由匹配到磁场的第一线圈发射的信号并且耦合到第一线圈。接收器用于从第二线圈接收所述信号。一种使用人体作为磁场建立网络通信的方法，所述方法包括：将发射器线圈与人体的一部分关联，所述发射器线圈配置为耦合到人体的近场中的接收器线圈；驱动发射器线圈以在人体周围产生磁性近场；以及用接收器线圈耦合到磁性近场。
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公开(公告)号：CN112585715A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201980054228.X
申请日：2019-08-08
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 王雨后 , 龙茂林 , 吴垠 , 亚历山大·米勒·帕特森
摘要： 一种用于将RF功率提供至衬底处理系统的部件的驱动电路包含在第一频率下运行的等离子体源。负载包含所述衬底处理系统的所述部件。阻抗网络将所述等离子体源连接至所述负载。电流传感器感测在所述等离子体源的输出处的电流。电压传感器感测在所述等离子体源的所述输出处的电压。控制器包含调谐频率计算器，所述调谐频率计算器被设置成：基于所述电压、所述电流以及所述阻抗网络的配置来计算用于所述等离子体源的调谐频率；以及基于所述调谐频率来调节所述第一频率。
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公开(公告)号：CN111699542A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201880085338.8
申请日：2018-11-29
申请人： 康姆艾德技术美国分公司
摘要： 一种物理气相沉积系统可包括RF发生器，该RF发生器被配置为经由RF匹配网络将交流工艺信号传输到物理气相沉积室。RF匹配网络的控制器被配置为接收直流幅度和相位误差信号，并且响应于直流幅度和相位误差信号来改变RF匹配网络的阻抗。匹配网络在第一模式下操作，直到确定调谐死区。一旦确定了调谐死区，匹配网络就在附加模式下操作，直到网络被调谐。控制器使用幅度和相位误差的合成值来驱动可变调谐和负载电容器。
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