发明公开
- 专利标题: 超声辅助激光表面清洗系统及其清洗方法
- 专利标题(英): Ultrasonic assistant laser surface washing system and method
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申请号: CN201710883603.4申请日: 2017-09-26
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公开(公告)号: CN107626689A公开(公告)日: 2018-01-26
- 发明人: 王静轩 , 袁晓东 , 叶亚云 , 姚彩珍 , 贾宝申 , 张继花
- 申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 申请人地址: 四川省绵阳市游仙区919信箱986分箱
- 专利权人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人地址: 四川省绵阳市游仙区919信箱986分箱
- 代理机构: 重庆为信知识产权代理事务所
- 代理商 龙玉洪
- 主分类号: B08B7/04
- IPC分类号: B08B7/04 ; B08B7/02 ; B08B7/00 ; B08B15/04
摘要:
本发明公开了一种超声辅助激光表面清洗系统及其清洗方法,清洗系统包括激光工作机构,其用于发出激光并对清洗样品表面进行清洗;超声振动机构,其用于产生超声振动并与激光一起同时作用于清洗样品;控制器,其包括用于控制激光工作机构激光控制单元,以及用于控制超声振动机构的超声控制单元;工作台,用于放置并固定清洗样品,其清洗方法主要采用清洗系统进行清洗,通过将激光和超声振动同时作用到清洗样品表面,形成复合清洗技术,可有效防止激光清洗时产生热量在样品表面积累,防止表面过热,同时有助于均化激光光斑作用在样品表面的能量分布,改善激光清洗表面质量的均一性,对于激光清洗领域发展具有极大的开拓意义。
公开/授权文献
- CN107626689B 超声辅助激光表面清洗系统及其清洗方法 公开/授权日:2024-04-12
IPC分类: