液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法

    公开(公告)号:CN109570151A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201910072533.3

    申请日:2019-01-25

    IPC分类号: B08B7/00

    摘要: 本发明公开了一种液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法,包括激光清洗模块和液流超声复合辅助模块。采用以上装置和方法,在基于激光湿法清洗的基础上,引入超声振动与液流清洗,其中,所设计的超生振动台与光学元件直接接触,可以更加充分的利用超声资源,超声振动产生的热量起到清洗前预热的作用,能够消除或减小清洗过程中的残余应力,避免不必要的损伤,提升光学元件性能;同时超声振动与激光参数调谐,从而与液流中激光致声效应产生的声波达到共振,使清洗效果得到显著提升,液流减小了激光对光学元件可能造成的损伤,并避免了二次污染,由此实现了针对光学元件的高效、高质量清洗。

    一种熔石英激光损伤的无热残余应力修复方法

    公开(公告)号:CN105948519B

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201610306938.5

    申请日:2016-05-11

    IPC分类号: C03C15/00

    摘要: 本发明提供了一种熔石英激光损伤的无热残余应力修复方法,该方法通过截取激光器输出脉冲的峰值段,获得高峰值功率矩形激光脉冲;聚焦高峰值功率矩形激光脉冲,获得甚高峰值功率密度单激光脉冲;使用单激光脉冲瞬间气化剥离熔石英基底上的单点的损伤部位材料;控制单激光脉冲间隔,使基底充分冷却;利用单激光脉冲重复进行气化剥离,直至去除损伤部位全部材料。本发明方法有效控制了熔石英基底发生高温结构弛豫,获得了无热残余应力的熔石英损伤修复,提升了熔石英光学元件损伤点的抗损伤能力,抑制了熔石英光学元件表面损伤及其增长,延长了熔石英光学元件使用寿命,具有修复时间短、过程简洁高效、工艺稳定性好、可控性强、重复性高的优点。

    一种熔石英激光损伤的无热残余应力修复方法

    公开(公告)号:CN105948519A

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201610306938.5

    申请日:2016-05-11

    IPC分类号: C03C15/00

    CPC分类号: C03C15/00

    摘要: 本发明提供了一种熔石英激光损伤的无热残余应力修复方法,该方法通过截取激光器输出脉冲的峰值段,获得高峰值功率矩形激光脉冲;聚焦高峰值功率矩形激光脉冲,获得甚高峰值功率密度单激光脉冲;使用单激光脉冲瞬间气化剥离熔石英基底上的单点的损伤部位材料;控制单激光脉冲间隔,使基底充分冷却;利用单激光脉冲重复进行气化剥离,直至去除损伤部位全部材料。本发明方法有效控制了熔石英基底发生高温结构弛豫,获得了无热残余应力的熔石英损伤修复,提升了熔石英光学元件损伤点的抗损伤能力,抑制了熔石英光学元件表面损伤及其增长,延长了熔石英光学元件使用寿命,具有修复时间短、过程简洁高效、工艺稳定性好、可控性强、重复性高的优点。

    一种二维声光Q开关调节装置

    公开(公告)号:CN105762638A

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201610306560.9

    申请日:2016-05-11

    IPC分类号: H01S3/117

    CPC分类号: H01S3/117

    摘要: 本发明提供了一种二维声光Q开关调节装置,所述的装置用于实现二维声光Q开关在俯仰和偏转两个自由度的无级调节。本发明在固定底座上方设置偏转调节底座,偏转调节底座边缘带有精细齿轮结构,在偏转调节齿轮的作用下可实现对声光Q开关水平偏转的调节。偏转调节底座上设置支撑件并固定。支撑件上方设置Q开关支撑台,Q开关支撑台在俯仰运动齿轮调节副的作用下可实现俯仰方向的调节,并可用固定螺栓固定。Q开关支撑台上方直接安装声光Q开关。本装置结构简单,调节方便,可以充分利用声光Q开关的声光优质。