发明公开
- 专利标题: 一种大面积均匀面电子源
- 专利标题(英): Large-area uniform face electron source
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申请号: CN201610612228.5申请日: 2016-07-28
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公开(公告)号: CN107665798A公开(公告)日: 2018-02-06
- 发明人: 钱芸生 , 汤狸明 , 赵慧明 , 宋诚鑫 , 张振 , 张益军
- 申请人: 南京理工大学
- 申请人地址: 江苏省南京市孝陵卫200号
- 专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市孝陵卫200号
- 代理机构: 南京理工大学专利中心
- 代理商 马鲁晋
- 主分类号: H01J3/02
- IPC分类号: H01J3/02 ; H01J1/15
摘要:
本发明公开了一种大面积均匀面电子源,它包括紫外光源,光刻钢网,紫外光源外壳,第一金阴极夹具组件,第一MCP夹具组件,第二金阴极夹具组件,金阴极,MCP,第二MCP夹具组件,第三MCP夹具组件,MCP夹具与金阴极夹具连接件。本发明的面电子源采用金阴极作为光电转换部件,使用微通道板作为金阴极出射电子的电子倍增部件,使用紫外光源以及光刻钢网的组合为金阴极提供均匀光照,通过调节微通道板的板压来调节输出面电流的电流密度大小。这种结构的面电子源使我们可以得到均匀的面电流。
公开/授权文献
- CN107665798B 一种大面积均匀面电子源 公开/授权日:2019-05-07