一种大面积均匀面电子源
摘要:
本发明公开了一种大面积均匀面电子源,它包括紫外光源,光刻钢网,紫外光源外壳,第一金阴极夹具组件,第一MCP夹具组件,第二金阴极夹具组件,金阴极,MCP,第二MCP夹具组件,第三MCP夹具组件,MCP夹具与金阴极夹具连接件。本发明的面电子源采用金阴极作为光电转换部件,使用微通道板作为金阴极出射电子的电子倍增部件,使用紫外光源以及光刻钢网的组合为金阴极提供均匀光照,通过调节微通道板的板压来调节输出面电流的电流密度大小。这种结构的面电子源使我们可以得到均匀的面电流。
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