一种烧结钕铁硼永磁体表面氮化物复合镀层及制备方法
摘要:
本发明公开了一种烧结钕铁硼永磁体表面氮化物复合镀层及制备方法,氮化物复合镀层是由两层或三层组成,两层包括内层的钛和外层的氮化物氮化物镀层,三层包括内层的钛、中间层及外层的氮化物镀层;内层厚度为1~5μm,中间层及外层的厚度分别为5~30μm;中间层及外层是氮化钛镀层或氮化钛镀层铝。其制备方法是使用磁控溅射离子镀设备,将烧结钕铁硼基体清洗干燥后放入真空腔室内抽真空,通入氩气进行离子轰击清洗,调节氮气比例沉积镀层,待真空腔室内温度降到室温后取出磁体。本发明制备过程环保、无污染、工艺稳定,所得钕铁硼磁体表面镀层可以获得多种颜色、基体与镀层的结合力好,能明显提高烧结钕铁硼磁体的耐腐蚀性能。
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