发明公开
- 专利标题: 用于连接至少两个部件的方法
- 专利标题(英): Method For Joining At Least Two Components
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申请号: CN201680038955.3申请日: 2016-06-22
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公开(公告)号: CN107709272A公开(公告)日: 2018-02-16
- 发明人: 马蒂亚斯·文特
- 申请人: 欧司朗光电半导体有限公司
- 申请人地址: 德国雷根斯堡
- 专利权人: 欧司朗光电半导体有限公司
- 当前专利权人: 欧司朗光电半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 德国雷根斯堡
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 丁永凡; 李建航
- 优先权: 102015111040.7 2015.07.08 DE
- 国际申请: PCT/EP2016/064454 2016.06.22
- 国际公布: WO2017/005492 DE 2017.01.12
- 进入国家日期: 2017-12-29
- 主分类号: C04B37/00
- IPC分类号: C04B37/00 ; C04B37/02 ; C04B37/04 ; H01L33/00 ; H01L25/075
摘要:
本发明涉及一种用于连接至少两个部件(1,2)的方法,所述方法具有步骤:A)提供至少一个第一部件(1)和至少一个第二部件(2),B)将至少一个施主层(3)施加到第一部件和/或所述第二部件(1,2)上,其中施主层(3)积聚有氧(31),C)将金属层(4)施加到施主层(3)、第一部件和/或第二部件(1,2)上,D)至少将金属层(4)加热到第一温度(T1),使得金属层(4)熔化并且第一部件(1)和第二部件(2)彼此连接,并且E)将该系统加热到第二温度(T2),使得氧(31)从施主层(3)转移到金属层(4)中,并且金属层(4)转化成稳定的金属氧化物层(5),其中金属氧化物层(5)具有比金属层(4)更高的熔化温度,其中至少施主层(3)和金属氧化物层(5)将第一部件(1)与第二部件(2)彼此连接。
公开/授权文献
- CN107709272B 用于连接至少两个部件的方法 公开/授权日:2021-04-16