发明授权
- 专利标题： 微机械结构元件
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申请号： CN201710680047.0申请日： 2017-08-10
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公开(公告)号： CN107720686B公开(公告)日： 2022-12-06
- 发明人: A·布莱特林 , C·施文克 , H·屈佩尔斯 , N·席滕黑尔姆 , V·施米茨
- 申请人： 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址： 德国斯图加特
- 专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址： 德国斯图加特
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 侯鸣慧
- 优先权： 102016214966.0 20160811 DE
- 主分类号： B81B7/00
- IPC分类号： B81B7/00
摘要：
提出一种具有主延伸平面的微机械结构元件，其中，所述微机械结构元件包围第一空腔并且包围第二空腔，其中，在所述第一空腔中存在第一压力并且在所述第二空腔中存在第二压力，其中，微机械结构元件的基本上平行于所述主延伸平面延伸的第一层在所述第一空腔与所述第二空腔之间基本上垂直于主延伸平面地伸入微机械结构元件的基本上平行于所述主延伸平面延伸的第二层中。
公开/授权文献
- CN107720686A 微机械结构元件 公开/授权日：2018-02-23
