- 专利标题: 一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统
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申请号: CN201711115989.0申请日: 2017-11-13
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公开(公告)号: CN107720757B公开(公告)日: 2018-07-03
- 发明人: 丁小海 , 唐国强 , 王生红 , 蔡延国 , 宗冰 , 王体虎
- 申请人: 亚洲硅业(青海)有限公司
- 申请人地址: 青海省西宁市城东区经济技术开发区金硅路1号
- 专利权人: 亚洲硅业(青海)有限公司
- 当前专利权人: 亚洲硅业(青海)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 青海省西宁市城东区经济技术开发区金硅路1号
- 代理机构: 北京超凡志成知识产权代理事务所
- 代理商 吴莎
- 主分类号: C01B33/035
- IPC分类号: C01B33/035
摘要:
本发明涉及多晶硅生产技术领域,公开了一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统。多晶硅还原炉停炉冷却方法是利用被加热后的冷却气体对多晶硅还原炉进行吹扫,冷却气体在多个硅棒之间定向流动并从还原炉周围散逸同时带走热量。冷却气体的温度高于环境温度并低于还原炉中部的硅棒温度。这样经过预热的冷却气体与硅棒或者炉内部件的温差较小(相对环境气体),在冷却过程中不容易产生炸裂。并且冷却气体的吹扫使得硅棒之间具有较快的气体流动,有利于冷却气体从还原炉中部的硅棒之间带走热量。多晶硅还原炉冷却系统包括了非接触式测温仪、加热装置、空气抽运泵、吹气装置以及连通以上各装置的管道。
公开/授权文献
- CN107720757A 一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统 公开/授权日:2018-02-23