应用于厚膜热压烧结的加压装置、热电厚膜及柔性热电器件
摘要:
本发明涉及一种应用于厚膜热压烧结的加压装置、热电厚膜及柔性热电器件。该加压装置包括多个压缩弹簧组件、第一压板、第二压板、顶板和底板;底板用于放置厚膜,第一压板置于厚膜上方并与厚膜相接触,第一压板与厚膜基板的尺寸相匹配,第二压板置于第一压板的上方,顶板置于所述第二压板的上方,每个压缩弹簧组件的一端与底板的一端固定连接,每个压缩弹簧组件的另一端分别穿设第二压板和顶板的一端,每个压缩弹簧组件包括一个压缩弹簧,压缩弹簧的两端分别与第二压板的上表面和顶板的下表面相抵接。本发明的柔性热电器件的制造方法具有工艺简单、制备可控性强、生产成本低,且制备的热电器件内阻较小,在电子元件热管理应用领域有独特的优势。
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