- 专利标题: 一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法
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申请号: CN201711088851.6申请日: 2017-11-08
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公开(公告)号: CN107738036B公开(公告)日: 2019-03-12
- 发明人: 王文君 , 李江 , 梅雪松 , 孙学峰 , 潘爱飞 , 崔健磊
- 申请人: 西安交通大学
- 申请人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人: 无锡超通智能制造技术研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 代理机构: 西安智大知识产权代理事务所
- 代理商 贺建斌
- 主分类号: B23K26/60
- IPC分类号: B23K26/60 ; B23K26/0622 ; G02B3/00
摘要:
一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法,先将PMMA颗粒溶于甲苯,涂敷在黑色亚克力板上,固化得双层加工样片;然后搭建光路,光路包括飞秒激光器,飞秒激光器输出光经过第一反射镜使光路转90°,反射光依次经过衰减片、光圈、半波片、分光棱镜、快门、第二反射镜、聚焦物镜垂直照射在移动载物台的加工工位上,飞秒激光器、快门、移动载物台和电脑连接;再利用电脑调节飞秒激光器输出激光参数,将双层结构样片固定在移动载物台加工工位上,经飞秒激光照射,利用电脑控制移动载物台移动,本发明利用透明PMMA层和黑色亚克力板的光吸收率差异,使得膨胀区域与吸收区域的分离,使微透镜阵列结构不易破裂,提高了微透镜阵列直径和高度可控范围。
公开/授权文献
- CN107738036A 一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法 公开/授权日:2018-02-27