一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法
摘要:
一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法,先将PMMA颗粒溶于甲苯,涂敷在黑色亚克力板上,固化得双层加工样片;然后搭建光路,光路包括飞秒激光器,飞秒激光器输出光经过第一反射镜使光路转90°,反射光依次经过衰减片、光圈、半波片、分光棱镜、快门、第二反射镜、聚焦物镜垂直照射在移动载物台的加工工位上,飞秒激光器、快门、移动载物台和电脑连接;再利用电脑调节飞秒激光器输出激光参数,将双层结构样片固定在移动载物台加工工位上,经飞秒激光照射,利用电脑控制移动载物台移动,本发明利用透明PMMA层和黑色亚克力板的光吸收率差异,使得膨胀区域与吸收区域的分离,使微透镜阵列结构不易破裂,提高了微透镜阵列直径和高度可控范围。
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