发明公开
CN107750388A 带有具有凹槽的内插器的集成电路结构
无效 - 驳回
- 专利标题: 带有具有凹槽的内插器的集成电路结构
- 专利标题(英): Integrated circuit structures with interposers having recesses
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申请号: CN201580081219.1申请日: 2015-06-25
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公开(公告)号: CN107750388A公开(公告)日: 2018-03-02
- 发明人: K-O.李 , I.A.萨拉马
- 申请人: 英特尔公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 英特尔公司
- 当前专利权人: 英特尔公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 李啸; 刘春元
- 国际申请: PCT/US2015/037808 2015.06.25
- 国际公布: WO2016/209243 EN 2016.12.29
- 进入国家日期: 2017-12-25
- 主分类号: H01L21/48
- IPC分类号: H01L21/48 ; H01L23/00 ; H01L23/13 ; H01L23/48 ; H01L23/498 ; H01L23/50 ; H01L23/538 ; H01L23/66 ; H01L25/065
摘要:
本文公开了具有带有凹槽的内插器的集成电路(IC)结构。例如,IC结构可包含:具有抗蚀表面的内插器;部署在抗蚀表面中的凹槽,其中凹槽的底部是表面精加工的;以及位于抗蚀表面处的多个导电接触。可公开和/或要求保护其它实施例。
IPC分类: