发明公开
CN107768274A 一种混液槽
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种混液槽
- 专利标题(英): Liquid mixing tank
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申请号: CN201610705018.0申请日: 2016-08-22
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公开(公告)号: CN107768274A公开(公告)日: 2018-03-06
- 发明人: 陈福发 , 方志友 , 吴均 , 王晖
- 申请人: 盛美半导体设备(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区中国上海浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢
- 专利权人: 盛美半导体设备(上海)有限公司
- 当前专利权人: 盛美半导体设备(上海)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区中国上海浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 施浩
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67
摘要:
本发明公开了一种混液槽,混液槽的顶部接有泄压装置,泄压装置包括管体,管体内壁设有至少一片挡板,挡板的径向截面尺寸小于管体的径向截面尺寸以在管体内形成限流通道。本发明通过在泄压装置管体的内壁设有挡板,使排出的气体中带有的酸液或碱液遇到挡板后冷凝聚集在挡板上,多个挡板交错分布在管体内形成限流通道,增大了气体与挡板的接触面,确保排出的气体中带有的酸液或碱液都能在挡板上冷凝,随着挡板上酸液或碱液越来越多,酸液或碱液在自身重力的作用下落入混液槽,确保酸液或碱液不会随着气体排出造成污染,保证了操作安全。
IPC分类: