一种高精度薄壁中空型行波超声电机，它涉及一种超声电机，以解决由于定子径向安装尺寸较大，使整个电机中空部分所占的尺寸较小，及因节约轴承的使用导致电机回转精度不高的问题，它包括空心轴、外壳、转子、定子和底座；转子安装在空心轴上，外壳盖装在底座上，转子的轮缘端面上布置有与定子相接触的摩擦片，定子与底座相邻的端面上铺设有压电陶瓷片，定子为在其外侧面沿周向开槽的折叠结构，定子安装于底座上的定位安装槽内，空心轴布置在外壳和底座上，空心轴能相对外壳和底座转动。本发明作为驱动器。