发明公开
- 专利标题: 静电卡盘以及半导体设备
- 专利标题(英): Static chuck and semiconductor device
-
申请号: CN201711223776.X申请日: 2017-11-28
-
公开(公告)号: CN107808848A公开(公告)日: 2018-03-16
- 发明人: 史全宇 , 师帅涛 , 赵梦欣 , 赵晋荣
- 申请人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
- 专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 李坤
- 主分类号: H01L21/687
- IPC分类号: H01L21/687 ; H01L21/683
摘要:
本公开提供了一种静电卡盘和半导体设备,支撑组件包括基座和功能部,卡盘本体,通过紧固件固定于基座,卡盘板体包括主体部,主体部背离基座的表面设有凸部,凸部的上表面用于支撑待加工工件;主体部朝向基座的表面设有凹部,凹部和基座构成的空间用于容置功能部和与功能部连接的管线。本公开提高了卡盘本体的结构强度,避免出现烧结不透彻,陶瓷颗粒大小不均匀,影响卡盘本体的强度和力学性能的情况,可有效防止微细裂纹的扩散,增大了卡盘本体的断裂强度,使卡盘本体的强度达到可以抵抗剪切力的程度。
公开/授权文献
- CN107808848B 静电卡盘以及半导体设备 公开/授权日:2024-10-25
IPC分类: