- 专利标题: 压接式IGBT器件正面金属电极结构的制备方法
-
申请号: CN201711017467.7申请日: 2017-10-26
-
公开(公告)号: CN107818916B公开(公告)日: 2020-03-17
- 发明人: 金锐 , 许生根 , 杨晓鸾 , 姜梅 , 董少华 , 崔磊
- 申请人: 全球能源互联网研究院 , 江苏中科君芯科技有限公司
- 申请人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 专利权人: 全球能源互联网研究院,江苏中科君芯科技有限公司
- 当前专利权人: 全球能源互联网研究院,江苏中科君芯科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 代理机构: 苏州国诚专利代理有限公司
- 代理商 韩凤
- 主分类号: H01L21/285
- IPC分类号: H01L21/285
摘要:
本发明涉及一种压接式IGBT器件正面压接金属电极结构的制备方法,其包括如下步骤:步骤1、提供制备有正面元胞结构的IGBT晶圆;步骤2、将金属淀积基片键合在连接金属电极层上;步骤3、在上述金属淀积基片上方淀积所需的金属,所述淀积的金属通过金属淀积图形与连接金属电极层电连接;步骤4、将金属淀积基片与连接金属电极层分离;步骤5、在上述IGBT晶圆正面制备所需的钝化层。本发明工艺步骤简单,与现有工艺兼容,能有效实现压接式IGBT器件正面上压接金属电极层的制备,可以省掉压接式IGBT器件上压接金属电极层的光刻加工工序,有效缩短压接式IGBT器件的加工周期,降低加工成本,安全可靠。
公开/授权文献
- CN107818916A 压接式IGBT器件正面金属电极结构的制备方法 公开/授权日:2018-03-20
IPC分类: