一种多焦点扫频OCT调焦装置及其方法
摘要:
本发明提供一种多焦点扫频OCT调焦装置及其方法,涉及光学成像技术领域,包括电动升降机和调焦机构,所述电动升降机包括载物台,所述载物台上设置有光圈和用于固定待检样品的固定夹,所述载物台的上方设置有会聚透镜,所述会聚透镜的上方设置有半反半透镜;所述调焦机构包括扫频光源和第一光纤耦合器,所述第一光纤耦合器光路连接有参考光路和样品光路,所述参考光路包括第一光学环形器、第一准直透镜以及平面反射镜,所述样品光路包括光学环形器、偏振控制器。本发明的有益之处是,通过引入相干光产生干涉来分析待检样品与光学系统焦点的距离自动调焦,有效提高调焦精度、速度。
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