发明授权
- 专利标题： 双沟道HEMT太赫兹探测器
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申请号： CN201711015956.9申请日： 2017-10-26
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公开(公告)号： CN107863360B公开(公告)日： 2020-08-18
- 发明人: 林启敬 , 孟庆之 , 蒋维乐 , 景蔚萱 , 韩枫
- 申请人： 西安交通大学
- 申请人地址： 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 专利权人： 西安交通大学
- 当前专利权人： 西安交通大学
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 代理机构： 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理商 王艾华
- 主分类号： H01L27/144
- IPC分类号： H01L27/144 ; H01L29/10
摘要：
本发明公开了一种基于双沟道HEMT的太赫兹波探测器，包含双沟道HEMT单元和能够耦合太赫兹波的天线。本发明所提出的双沟道HEMT太赫兹探测器采用半导体制造工艺，将太赫兹波天线与HEMT集成一体，结构紧凑，有利于探测器的阵列化和规模化生产，能够有效提高器件的导通电流，增大探测器的响应度和灵敏度，提升探测器的稳定性，进而实现对太赫兹波快速、准确的探测。
公开/授权文献
- CN107863360A 双沟道HEMT太赫兹探测器 公开/授权日：2018-03-30
IPC分类:
