发明公开
- 专利标题: 具有对准键的半导体装置及其制造方法
- 专利标题(英): Semiconductor devices with alignment keys and manufacture method thereof
-
申请号: CN201710858966.2申请日: 2017-09-21
-
公开(公告)号: CN107887364A公开(公告)日: 2018-04-06
- 发明人: 申树浩 , 李周益 , 李俊镐 , 李基硕 , 金光敏 , 文一荣 , 朴济民 , 徐范锡 , 尹灿植 , 李昊仁
- 申请人: 三星电子株式会社
- 申请人地址: 韩国京畿道水原市
- 专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道水原市
- 代理机构: 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 刘美华; 刘灿强
- 优先权: 10-2016-0127011 2016.09.30 KR
- 主分类号: H01L23/544
- IPC分类号: H01L23/544 ; H01L21/768
摘要:
提供一种具有对准键的半导体装置及其制造方法。对准键在基底上,该对准键包括:第一子对准键图案,具有顺序地堆叠在基底上的第一导电图案、第二导电图案和覆盖介电图案;对准键沟槽,穿过第一子对准键图案的至少一部分;以及下导电图案,在对准键沟槽中。对准键沟槽包括:上沟槽,设置在覆盖介电图案中且具有第一宽度;以及下沟槽,从上沟槽向下延伸且具有比第一宽度小的第二宽度。下导电图案包括分别设置在下沟槽的相对侧壁上的侧壁导电图案。
公开/授权文献
- CN107887364B 具有对准键的半导体装置及其制造方法 公开/授权日:2021-11-23
IPC分类: