具有对准键的半导体装置及其制造方法
摘要:
提供一种具有对准键的半导体装置及其制造方法。对准键在基底上,该对准键包括:第一子对准键图案,具有顺序地堆叠在基底上的第一导电图案、第二导电图案和覆盖介电图案;对准键沟槽,穿过第一子对准键图案的至少一部分;以及下导电图案,在对准键沟槽中。对准键沟槽包括:上沟槽,设置在覆盖介电图案中且具有第一宽度;以及下沟槽,从上沟槽向下延伸且具有比第一宽度小的第二宽度。下导电图案包括分别设置在下沟槽的相对侧壁上的侧壁导电图案。
公开/授权文献
0/0