- 专利标题： 以范围为基础的实时扫描电子显微镜的非视觉分格器
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申请号： CN201680045369.1申请日： 2016-08-03
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公开(公告)号： CN107923856B公开(公告)日： 2021-02-26
- 发明人: H·罗伊 , A·杰因 , A·亚提 , O·莫罗 , A·罗布
- 申请人： 科磊股份有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 张世俊
- 优先权： 4069/CHE/2015 2015.08.05 IN
- 国际申请： PCT/US2016/045410 2016.08.03
- 国际公布： WO2017/024065 EN 2017.02.09
- 进入国家日期： 2018-02-01
- 主分类号： G01N21/95
- IPC分类号： G01N21/95 ; G01Q30/02 ; G01N21/88
摘要：
本发明揭示了一种用于识别例如SEM非视觉缺陷SNV等的非视觉缺陷的技术，所述技术包含：产生晶片的层的图像；使用分类器来评估所述图像的至少一个属性；及识别所述晶片的所述层上的所述非视觉缺陷。控制器可经配置以使用所述分类器来识别所述非视觉缺陷。此控制器可与例如扫描电子显微镜SEM的缺陷重检工具通信。
公开/授权文献
- CN107923856A 以范围为基础的实时扫描电子显微镜的非视觉分格器 公开/授权日：2018-04-17
