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发明公开
CN108064413A 用于干式处理和湿式处理的混合基板处理系统及其基板处理方法 无效 - 驳回

用于干式处理和湿式处理的混合基板处理系统及其基板处理方法
摘要：
可以使用配备在前端模块中的单个基板输送机械手根据处理特性而选择性地通过真空或边缘夹持方法来输送基板。另外，在处理之后，可以使用缓冲室来装载基板，以用于冷却处理和输送基板。
摘要（英）：

The substrate can be selectively transferred by a vacuum or edge grip method according to the process characteristics, using a single substrate transfer robot equipped in the front end module. Additionally, after the process, the substrate can be loaded using the buffer chamber, for the cooling process and transfer of the substrate.

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