- 专利标题: 真空条件下基于辐射诱导电场的颗粒物清除系统及方法
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申请号: CN201711390031.2申请日: 2017-12-21
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公开(公告)号: CN108080355B公开(公告)日: 2019-10-29
- 发明人: 王志浩 , 丁义刚 , 白羽 , 田东波 , 刘宇明 , 姜海富 , 马子良 , 刘业楠 , 沈自才 , 郎冠卿 , 于强 , 杨艳斌
- 申请人: 北京卫星环境工程研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区友谊路104号
- 专利权人: 北京卫星环境工程研究所
- 当前专利权人: 北京卫星环境工程研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区友谊路104号
- 主分类号: B08B6/00
- IPC分类号: B08B6/00
摘要:
本发明公开了一种真空条件下基于辐射诱导电场的颗粒物清除系统,包括真空容器,以及设置在真空容器内的紫外灯和电子枪,紫外灯与电子枪分别设置在间隔板的两侧面上,间隔板通过旋转装置转动,紫外灯和电子枪随着间隔板转动到一定位置,紫外灯和电子枪将各自辐射的颗粒物产生带正电颗粒和带负电颗粒,在横向电场的作用下,颗粒物质移动脱离所粘附的材料,进行清除。本发明也公开了一种颗粒物清除方法。本发明利用颗粒物质真空条件下的荷电特性清除颗粒物质,无需对颗粒物质进行特殊处理,也不需要改变颗粒与粘附表面的接触状态,且清除区域有确定的边界和方向性。
公开/授权文献
- CN108080355A 真空条件下基于辐射诱导电场的颗粒物清除系统及方法 公开/授权日:2018-05-29
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