真空条件下基于辐射诱导电场的颗粒物清除系统及方法
摘要:
本发明公开了一种真空条件下基于辐射诱导电场的颗粒物清除系统,包括真空容器,以及设置在真空容器内的紫外灯和电子枪,紫外灯与电子枪分别设置在间隔板的两侧面上,间隔板通过旋转装置转动,紫外灯和电子枪随着间隔板转动到一定位置,紫外灯和电子枪将各自辐射的颗粒物产生带正电颗粒和带负电颗粒,在横向电场的作用下,颗粒物质移动脱离所粘附的材料,进行清除。本发明也公开了一种颗粒物清除方法。本发明利用颗粒物质真空条件下的荷电特性清除颗粒物质,无需对颗粒物质进行特殊处理,也不需要改变颗粒与粘附表面的接触状态,且清除区域有确定的边界和方向性。
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