微纳薄膜磁声天线
摘要:
本发明公开了一种微纳薄膜磁声天线,包括底座,在底座上表面中部开设有空腔,在空腔底部和侧壁上以及底座上表面设有连为一体的绝缘层,在底座上表面绝缘层上设有支撑层,支撑层中部悬置于空腔之上;在支撑层上设有由磁致伸缩薄膜与薄膜体声波谐振器构成的磁-声-电耦合结构,磁-声-电耦合结构位于空腔正上方。所述磁致伸缩薄膜每张由多层磁致伸缩薄膜层与多层缓冲层组成,磁致伸缩薄膜层的层数与缓冲层的层数相同并间隔设置。本发明在实现小型化的同时保持天线具备比传统电天线更好的性能。
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