用于合成InP多晶的装料装置及合成InP多晶的方法
摘要:
本发明提供了一种用于合成InP多晶的装料装置及合成InP多晶的方法。用于合成InP多晶的装料装置包括:装料瓶,具有用于盛放红磷料和铟料的且具有封闭端和开口端的收容腔;盖体,能够盖合在装料瓶的开口端上,且设有与收容腔和装料瓶外部连通的排气孔;保护气体提供瓶,用于盛放不与红磷料反应的保护气体,具有出气口;输送管,一端连通于保护气体提供瓶的出气口,另一端穿过盖体并伸进装料瓶的收容腔,以向装料瓶的收容腔输送保护气体。在根据本发明的用于合成InP多晶的装料装置中,有效地避免了红磷料在含有氧气的空气中因摩擦、碰撞而发生自燃的风险并进一步避免红磷料与空气燃烧形成的氧化物对后续形成的InP多晶造成污染。
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