• Patent Title: 一种大范围电子束激发荧光成像和光谱测量装置及其方法
  • Patent Title (English): Wide-range electron beam excited fluorescence imaging and spectral measurement device and method thereof
  • Application No.: CN201611259463.5
    Application Date: 2016-12-30
  • Publication No.: CN108267430A
    Publication Date: 2018-07-10
  • Inventor: 朱瑞徐军刘亚琪
  • Applicant: 北京大学
  • Applicant Address: 北京市海淀区颐和园路5号
  • Assignee: 北京大学
  • Current Assignee: 北京大学
  • Current Assignee Address: 北京市海淀区颐和园路5号
  • Agency: 北京万象新悦知识产权代理事务所
  • Agent 王岩
  • Main IPC: G01N21/64
  • IPC: G01N21/64 G01N21/01
一种大范围电子束激发荧光成像和光谱测量装置及其方法
Abstract:
本发明公开了一种大范围电子束激发荧光成像和光谱测量装置及其方法。本发明的大范围电子束激发荧光成像和光谱测量装置包括:扫描电子显微镜系统、扫描信号发生器、大范围荧光收集耦合传输系统、荧光强度探测器、荧光光谱探测器、扫描同步信号采集器、协同控制与数据处理输出系统;本发明通过引入大范围荧光耦合器,使得在扫描电子显微镜系统在成像视野范围内所激发的荧光信号均能够以相同的高收集效率会聚耦合至荧光传输光路,解决了大范围荧光扫描成像所得到的图像难以使用统一的标准来测算和比较不同位置处的荧光激发强度或荧光激发产率以及荧光光谱信息的问题,能够完成基于电子束激发荧光信号的大范围快速检测分析。
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