发明公开
CN108286043A 采用化学气相沉积法制备β-Ga2O3纳米球的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 采用化学气相沉积法制备β-Ga2O3纳米球的方法
- 专利标题(英): Method for preparing beta-Ga2O3 nanosphere by adopting chemical vapor deposition method
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申请号: CN201810038960.5申请日: 2018-01-16
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公开(公告)号: CN108286043A公开(公告)日: 2018-07-17
- 发明人: 冯秋菊 , 李芳 , 李彤彤 , 李昀铮 , 石博 , 李梦轲
- 申请人: 辽宁师范大学
- 申请人地址: 辽宁省大连市沙河口区黄河路850号
- 专利权人: 辽宁师范大学
- 当前专利权人: 辽宁师范大学
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市沙河口区黄河路850号
- 代理机构: 大连非凡专利事务所
- 代理商 闪红霞
- 主分类号: C23C16/40
- IPC分类号: C23C16/40 ; B82Y30/00 ; B82Y40/00
摘要:
本发明公开一种无需催化剂、操作简单、重复性好的采用化学气相沉积法制备β-Ga2O3纳米球的方法,按如下步骤进行:将纯度大于99%的氧化镓粉末和活性炭粉按照质量比1:1~2充分混合制成反应源材料,将反应源材料放入石英舟内,然后再将石英舟放入化学气相沉积系统石英管的高温加热区,硅衬底位于反应源材料的正上方1~2cm处;通入氩气为载气,氩气流量为30~90ml/min;当加热温度达到1120~1200℃时通入氧气,氧气流量为30~100ml/min,生长时间为30分钟;关闭氧气,保持氩气流量,降温至室温取出样品。
公开/授权文献
- CN108286043B 采用化学气相沉积法制备β-Ga2O3纳米球的方法 公开/授权日:2019-12-24
IPC分类: