采用化学气相沉积法制备β-Ga2O3纳米球的方法
摘要:
本发明公开一种无需催化剂、操作简单、重复性好的采用化学气相沉积法制备β-Ga2O3纳米球的方法,按如下步骤进行:将纯度大于99%的氧化镓粉末和活性炭粉按照质量比1:1~2充分混合制成反应源材料,将反应源材料放入石英舟内,然后再将石英舟放入化学气相沉积系统石英管的高温加热区,硅衬底位于反应源材料的正上方1~2cm处;通入氩气为载气,氩气流量为30~90ml/min;当加热温度达到1120~1200℃时通入氧气,氧气流量为30~100ml/min,生长时间为30分钟;关闭氧气,保持氩气流量,降温至室温取出样品。
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