发明公开
- 专利标题: 填充镀敷系统及填充镀敷方法
- 专利标题(英): Filling plating system and filling plating method
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申请号: CN201810031845.5申请日: 2018-01-12
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公开(公告)号: CN108315781A公开(公告)日: 2018-07-24
- 发明人: 冈町琢也 , 大村直之 , 松田加奈子
- 申请人: 上村工业株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 上村工业株式会社
- 当前专利权人: 上村工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 张会华
- 优先权: 2017-003286 2017.01.12 JP
- 主分类号: C25D3/38
- IPC分类号: C25D3/38 ; C25D5/02 ; H05K3/42
摘要:
本发明的目的在于提供一种即使镀敷在多个电解镀敷单元之间中断也能够充分地填充镀敷的填充镀敷系统及填充镀敷方法。填充镀敷系统用于在被镀物的导通孔和/或通孔中形成填充镀敷,其特征在于,包括:多个电解镀敷单元;以及设置于各所述电解镀敷单元之间的添加剂附着区域,在所述添加剂附着区域,使包含至少从包含含氮有机化合物的整平剂、包含含硫有机化合物的光亮剂、包含聚醚化合物的载体中选择的一种以上的添加剂的溶液直接附着于所述被镀物。
公开/授权文献
- CN108315781B 填充镀敷系统及填充镀敷方法 公开/授权日:2021-11-02