一种准垂直结构p-金刚石/i-SiC/n-金刚石LED及其制作方法
Abstract:
本发明公开了一种准垂直结构p-金刚石/i-SiC/n-金刚石LED及其制作方法,其中,一种准垂直结构p-金刚石/i-SiC/n-金刚石LED,包括依次层叠设置的单晶金刚石衬底和p型硼高掺杂金刚石层,p型硼高掺杂金刚石层上方依次设置有i型碳化硅层、n型磷高掺杂金刚石层、欧姆接触电极和保护金属层,p型硼高掺杂金刚石层上方还依次设置有欧姆接触电极和保护金属层,解决了金刚石LED发光效率问题。
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