发明授权
- 专利标题: 复合基板及压电基板的厚度趋势推定方法
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申请号: CN201680002494.4申请日: 2016-09-14
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公开(公告)号: CN108352442B公开(公告)日: 2021-07-20
- 发明人: 长江智毅 , 小泉文人
- 申请人: 日本碍子株式会社
- 申请人地址: 日本国爱知县
- 专利权人: 日本碍子株式会社
- 当前专利权人: 日本碍子株式会社
- 当前专利权人地址: 日本国爱知县
- 代理机构: 北京旭知行专利代理事务所
- 代理商 王轶; 郑雪娜
- 优先权: 2015-181763 20150915 JP
- 国际申请: PCT/JP2016/077033 2016.09.14
- 国际公布: WO2017/047605 JA 2017.03.23
- 进入国家日期: 2017-03-01
- 主分类号: H01L41/337
- IPC分类号: H01L41/337 ; H01L41/053 ; H01L41/08 ; H01L41/313 ; H03H3/08 ; H03H9/25
摘要:
本发明的复合基板是一种包括直径2英寸以上的支撑基板和厚度为20μm以下且透光并接合于所述支撑基板的压电基板的复合基板,其中,所述压电基板具有条纹状的厚度分布,在沿着与所述条纹正交的线切割所述复合基板而得到的截面处的、所述压电基板的厚度分布中,出现厚度方向的振幅为5nm~100nm且宽度方向的间距为0.5mm~20mm的波形,该波形的间距与所述条纹的宽度相关。压电基板中,所述条纹可以为平行的条纹,也可以为旋涡状或同心圆状的条纹。
公开/授权文献
- CN108352442A 复合基板及压电基板的厚度趋势推定方法 公开/授权日:2018-07-31
IPC分类: