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公开(公告)号：CN108352442A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680002494.4
申请日：2016-09-14
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/337 , H01L41/053 , H01L41/08 , H01L41/313 , H03H3/08 , H03H9/25
CPC classification number: H01L41/337 , H01L41/081 , H01L41/0815 , H01L41/22 , H01L41/313 , H03H9/02047 , H03H9/02574 , H03H9/02614
Abstract: 本发明的复合基板是一种包括直径2英寸以上的支撑基板和厚度为20μm以下且透光并接合于所述支撑基板的压电基板的复合基板，其中，所述压电基板具有条纹状的厚度分布，在沿着与所述条纹正交的线切割所述复合基板而得到的截面处的、所述压电基板的厚度分布中，出现厚度方向的振幅为5nm～100nm且宽度方向的间距为0.5mm～20mm的波形，该波形的间距与所述条纹的宽度相关。压电基板中，所述条纹可以为平行的条纹，也可以为旋涡状或同心圆状的条纹。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113439208B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN201980090924.6
申请日：2019-12-24
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01N27/407 , G01N27/416
Abstract: 传感器元件具备：测定电极44，其配设于被测定气体流通部9的内周面上；以及基准电极42，其在作为特定气体浓度的检测基准的基准气体中露出。传感器元件具备导入口保护层(第五保护层84e)，其将元件主体102的表面中的作为被测定气体流通部9的入口的气体导入口10、以及开设有该气体导入口10的第五面102e的至少一部分覆盖。并且，第五保护层84e所具有的第五内部空间90e的第五内周面94e(第五外侧内周面95e)的算术平均粗糙度Rap满足：8μm以上或大于保护层84中的与元件主体102之间的接合面97的算术平均粗糙度Rac中的至少一个条件。
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公开(公告)号：CN108352442B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201680002494.4
申请日：2016-09-14
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/337 , H01L41/053 , H01L41/08 , H01L41/313 , H03H3/08 , H03H9/25
Abstract: 本发明的复合基板是一种包括直径2英寸以上的支撑基板和厚度为20μm以下且透光并接合于所述支撑基板的压电基板的复合基板，其中，所述压电基板具有条纹状的厚度分布，在沿着与所述条纹正交的线切割所述复合基板而得到的截面处的、所述压电基板的厚度分布中，出现厚度方向的振幅为5nm～100nm且宽度方向的间距为0.5mm～20mm的波形，该波形的间距与所述条纹的宽度相关。压电基板中，所述条纹可以为平行的条纹，也可以为旋涡状或同心圆状的条纹。
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公开(公告)号：CN113439208A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN201980090924.6
申请日：2019-12-24
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01N27/407 , G01N27/416
Abstract: 传感器元件具备：测定电极44，其配设于被测定气体流通部9的内周面上；以及基准电极42，其在作为特定气体浓度的检测基准的基准气体中露出。传感器元件具备导入口保护层(第五保护层84e)，其将元件主体102的表面中的作为被测定气体流通部9的入口的气体导入口10、以及开设有该气体导入口10的第五面102e的至少一部分覆盖。并且，第五保护层84e所具有的第五内部空间90e的第五内周面94e(第五外侧内周面95e)的算术平均粗糙度Rap满足：8μm以上或大于保护层84中的与元件主体102之间的接合面97的算术平均粗糙度Rac中的至少一个条件。
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公开(公告)号：CN113439209B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN201980090927.X
申请日：2019-12-24
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01N27/407 , G01N27/416
Abstract: 传感器元件具备：长条的长方体形状的元件主体102，在其内部设置有被测定气体流通部9；测定电极，其配设于被测定气体流通部9的内周面上；以及多孔质的保护层84，其将元件主体102的第一～第五面102a～102e覆盖。将在元件主体102的一部分且是从被测定气体流通部9至第一～第五面102a～102e的各面的部分存在的外壁105中最薄的第五外壁105e设为最薄外壁，将与最薄外壁对应的第五面102e设为最接近面，保护层84中的将最接近面覆盖的第五保护层84e在从与最接近面垂直的方向观察时与最薄外壁整体重叠。第五保护层84e具有：在从与最接近面垂直的方向观察时与最薄外壁的80％以上重叠的第五内部空间90e。
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公开(公告)号：CN113439209A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN201980090927.X
申请日：2019-12-24
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01N27/407 , G01N27/416
Abstract: 传感器元件具备：长条的长方体形状的元件主体102，在其内部设置有被测定气体流通部9；测定电极，其配设于被测定气体流通部9的内周面上；以及多孔质的保护层84，其将元件主体102的第一～第五面102a～102e覆盖。将在元件主体102的一部分且是从被测定气体流通部9至第一～第五面102a～102e的各面的部分存在的外壁105中最薄的第五外壁105e设为最薄外壁，将与最薄外壁对应的第五面102e设为最接近面，保护层84中的将最接近面覆盖的第五保护层84e在从与最接近面垂直的方向观察时与最薄外壁整体重叠。第五保护层84e具有：在从与最接近面垂直的方向观察时与最薄外壁的80％以上重叠的第五内部空间90e。
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