一种可变带隙的AlCoCrFeNi高熵合金氧化物半导体薄膜及其制备方法
摘要:
一种可变带隙的AlCoCrFeNi高熵合金氧化物半导体薄膜及其制备方法,属半导体材料技术领域。这种薄膜具有如下通式:(AlyCoCrFeNi)1-xOx,x=0.3~0.7,y=0~1.0,磁控溅射靶材Al:Co:Cr:Fe:Ni的原子比为y:1:1:1:1;薄膜呈纳米晶或非晶态,整体氧化。通过调整x和y可使带隙宽度在2.20~4.20 eV区间、硬度在7~20 Gpa区间、电阻率在1×107~1×1019μΩ·cm区间连续变化,且在不同基体上生长的薄膜呈现透明或不同颜色。磁控溅射法制备薄膜方法成熟,可获得纳米晶或非晶态结构,整体氧化、薄膜均匀致密且表面平整。该薄膜灵活选择改变金属元素或改变氧分压来大范围调整,又可以带来性能(带隙宽度、硬度、电阻率、颜色等)的大范围调整,拓宽了薄膜的应用领域,可应用于光学、微电子器件、高硬耐磨及装饰薄膜等领域。
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