发明授权
- 专利标题: 薄膜晶体管阵列基板及其制备方法
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申请号: CN201810395559.7申请日: 2018-04-27
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公开(公告)号: CN108400110B公开(公告)日: 2020-01-17
- 发明人: 周志超 , 夏慧 , 陈梦
- 申请人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
- 专利权人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
- 代理机构: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司
- 代理商 孙伟峰; 黄进
- 主分类号: H01L21/77
- IPC分类号: H01L21/77 ; H01L27/12
摘要:
本发明公开了一种薄膜晶体管阵列基板的制备方法,其包括:在衬底基板上制备形成数据线和源电极,所述源电极呈环状结构;在衬底基板上形成第一绝缘层;在所述第一绝缘层上刻蚀形成环状凹槽,所述源电极从所述环状凹槽暴露出;在所述环状凹槽中制备形成半导体有源层;在位于所述环状凹槽所环绕的区域刻蚀形成凹孔;在所述第一绝缘层上制备形成栅极线、栅电极和漏电极,所述栅电极形成在所述凹孔中,所述漏电极连接在半导体有源层上;在第一绝缘层上制备形成第二绝缘层,在第二绝缘层中刻蚀形成像素过孔;在第二绝缘层上制备形成像素电极,所述像素电极通过像素过孔连接到漏电极。本发明还公开了如上所述制备方法制备形成的薄膜晶体管阵列基板。
公开/授权文献
- CN108400110A 薄膜晶体管阵列基板及其制备方法 公开/授权日:2018-08-14
IPC分类: