薄膜晶体管阵列基板及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种薄膜晶体管阵列基板的制备方法,其包括:在衬底基板上制备形成数据线和源电极,所述源电极呈环状结构;在衬底基板上形成第一绝缘层;在所述第一绝缘层上刻蚀形成环状凹槽,所述源电极从所述环状凹槽暴露出;在所述环状凹槽中制备形成半导体有源层;在位于所述环状凹槽所环绕的区域刻蚀形成凹孔;在所述第一绝缘层上制备形成栅极线、栅电极和漏电极,所述栅电极形成在所述凹孔中,所述漏电极连接在半导体有源层上;在第一绝缘层上制备形成第二绝缘层,在第二绝缘层中刻蚀形成像素过孔;在第二绝缘层上制备形成像素电极,所述像素电极通过像素过孔连接到漏电极。本发明还公开了如上所述制备方法制备形成的薄膜晶体管阵列基板。
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