摘要:
本发明公开了一种基于GeTe的双功能器件及其制备方法,所述器件包括三层结构:顶电极、薄膜介质层和底电极。所述顶电极为W;所述薄膜介质层为GeTe薄膜;所述底电极的材料为选自ITO、FTO、ZTO、TaN或者TiN中的任一种。所述顶电极,薄膜介质层,底电极都是通过磁控溅射的方法制备。通过控制操作电流的大小使GeTe薄膜介质层发生不同的阻态切换从而实现常规阻变功能或互补型阻变功能。本发明提出的双功能器件的常规阻变功能可用作常规记忆存储元件,互补型阻变功能可以有效解决阻变存储器十字交叉阵列中的电流串扰问题,通过合理地控制操作电流的大小,将两种功能相互转换,大大了提高器件的应用范围。
公开/授权文献
- CN108400238A 一种基于GeTe的双功能器件及其制备方法 公开/授权日:2018-08-14
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