发明授权
- 专利标题: 一种四氯化硅的氢化方法
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申请号: CN201810467385.0申请日: 2018-05-16
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公开(公告)号: CN108439413B公开(公告)日: 2019-10-25
- 发明人: 张宝顺 , 宗冰 , 肖建忠 , 王体虎 , 陈聪
- 申请人: 亚洲硅业(青海)有限公司
- 申请人地址: 青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号
- 专利权人: 亚洲硅业(青海)有限公司
- 当前专利权人: 亚洲硅业(青海)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号
- 代理机构: 北京超凡志成知识产权代理事务所
- 代理商 毕翔宇
- 主分类号: C01B33/107
- IPC分类号: C01B33/107
摘要:
本发明提供一种四氯化硅的氢化方法,属于多晶硅生产技术领域。四氯化硅的氢化方法是向填充有电磁场调整材料和负载金属催化剂的气体放电反应器内通入四氯化硅和氢气,在电磁场的作用下反应。此方法能够提高四氯化硅低温氢化的效率,降低反应体系的温度。
公开/授权文献
- CN108439413A 一种四氯化硅的氢化方法 公开/授权日:2018-08-24