一种四氯化硅的氢化方法
摘要:
本发明提供一种四氯化硅的氢化方法,属于多晶硅生产技术领域。四氯化硅的氢化方法是向填充有电磁场调整材料和负载金属催化剂的气体放电反应器内通入四氯化硅和氢气,在电磁场的作用下反应。此方法能够提高四氯化硅低温氢化的效率,降低反应体系的温度。
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