一种铸造准单晶硅锭的炉体热场
摘要:
一种铸造准单晶硅锭的炉体热场,包括炉体,所述炉体内设有隔热笼体,隔热笼体包括经4块测角保温板连接成口字型的4块外侧保温板,每块外侧保温板的内侧均设有高效保温软毡,高效保温软毡的内侧设有内侧保温板,所述隔热笼体内侧由上至下依次设有上保温顶板、石英坩埚和下保温底板,所述石英坩埚外侧设有坩埚护板,坩埚护板的上端连接有进气管,坩埚护板外侧设有侧加热器,侧加热器的上端连接吊臂加热板,吊臂加热板的上端连接有石墨电极,所述坩埚护板下端设有坩埚底板,坩埚底板下端四周设有隔热保温条,隔热保温条内侧设有热交换平台,所述热交换平台经石墨立柱固定。该热场具有较好的保温性,起到节能降耗和提高晶体质量目的。
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