一种用于多晶硅铸锭炉降低铸锭碳氧含量的方法

    公开(公告)号:CN108531984A

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201810598214.1

    申请日:2018-06-12

    IPC分类号: C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 一种用于多晶硅铸锭炉降低铸锭碳氧含量的方法,该方法包括以下步骤:(1)对石英坩埚进行喷涂氮化硅浆料作为脱模层,然后装料并在坩埚四周设置开有小孔的护板,护板尺寸长为500mm-1200mm,高为300mm-600mm,放置于石墨底板上,用叉车将料投入定向铸锭炉内;(2)合炉运行,抽真空处理后加热至800-900℃时通入氩气,设置进气量为50%-90%之间,继续升温至1550℃,直至硅料处于熔融状态;(3)然后打开隔热笼并降低设置温度,待硅料的熔融温度降至多晶硅铸锭的结晶温度后对混合硅料进行定向凝固直至完成长晶过程;(4)待长晶完成之后依次进行退火与冷却得到多晶硅铸锭,并取中心硅块靠近坩埚底部50mm处样片进行碳氧含量测试。

    一种铸造准单晶硅锭的炉体热场

    公开(公告)号:CN108468087A

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201810598333.7

    申请日:2018-06-12

    IPC分类号: C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 一种铸造准单晶硅锭的炉体热场,包括炉体,所述炉体内设有隔热笼体,隔热笼体包括经4块测角保温板连接成口字型的4块外侧保温板,每块外侧保温板的内侧均设有高效保温软毡,高效保温软毡的内侧设有内侧保温板,所述隔热笼体内侧由上至下依次设有上保温顶板、石英坩埚和下保温底板,所述石英坩埚外侧设有坩埚护板,坩埚护板的上端连接有进气管,坩埚护板外侧设有侧加热器,侧加热器的上端连接吊臂加热板,吊臂加热板的上端连接有石墨电极,所述坩埚护板下端设有坩埚底板,坩埚底板下端四周设有隔热保温条,隔热保温条内侧设有热交换平台,所述热交换平台经石墨立柱固定。该热场具有较好的保温性,起到节能降耗和提高晶体质量目的。

    一种高效多晶硅锭铸炉的加热器及热场结构

    公开(公告)号:CN209082034U

    公开(公告)日:2019-07-09

    申请号:CN201821522960.4

    申请日:2018-09-18

    IPC分类号: C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 一种高效多晶硅锭铸炉的加热器及热场结构,包括置于隔热笼内侧的侧部保温板,所述侧部保温板的内侧四周设有侧部加热器,侧部保温板的内侧上端设有顶部加热器,侧部保温板内还设有DS块,侧部保温板的底部设有下底部保温板,下底部保温板的上端设有上底部保温板,所述上底部保温板的上端面上的4个角部均设有底部保温条,所述侧部加热器包括4个侧面上的侧面加热板和4个角部“U”型加热板。本实用新型的侧部加热器上的4个角上增加一块“U”型加热板,使得角部导热量增加,单相侧部功率增加12%,侧部加热器对硅锭的热辐射更加均匀,弥补热场内角部供热不足的缺陷。

    一种铸造高效多晶的多晶铸锭炉热场

    公开(公告)号:CN207987351U

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201721774315.7

    申请日:2017-12-19

    IPC分类号: C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 一种铸造高效多晶的多晶铸锭炉热场,包括置于隔热笼保温层内部的坩埚,所述坩埚的外侧设有加热器,坩埚的下端设有DS块,DS块的下端设有保温毡,所述隔热笼保温层内侧下端设有塞条,所述DS块与保温毡之间设有上软毡,上软毡的一端超出DS块与保温毡的外侧端面置于塞条的正上方。本实用新型主要的技术方案是在DS块底部或者隔热笼内塞条上增加多层一定面积的软毡,封堵坩埚侧边的散热量,制止坩埚侧面生长。

    一种铸造准单晶硅锭的铸锭炉

    公开(公告)号:CN208379050U

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201820901519.0

    申请日:2018-06-12

    IPC分类号: C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 一种铸造准单晶硅锭的铸锭炉,包括炉体,所述炉体内设有隔热笼体,隔热笼体包括经4块测角保温板连接成口字型的4块外侧保温板,每块外侧保温板的内侧均设有高效保温软毡,高效保温软毡的内侧设有内侧保温板,所述隔热笼体内侧由上至下依次设有上保温顶板、石英坩埚和下保温底板,所述石英坩埚外侧设有坩埚护板,坩埚护板的上端连接有进气管,坩埚护板外侧设有侧加热器,侧加热器的上端连接吊臂加热板,吊臂加热板的上端连接有石墨电极,所述坩埚护板下端设有坩埚底板,坩埚底板下端四周设有隔热保温条,隔热保温条内侧设有热交换平台,所述热交换平台经石墨立柱固定。该铸锭炉热场具有较好的保温性,起到节能降耗和提高晶体质量目的。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利