- 专利标题: 一种金刚石紫外探测器三维电极结构及其制作方法
- 专利标题(英): Diamond ultraviolet detector three-dimensional electrode structure and manufacturing method thereof
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申请号: CN201810398932.4申请日: 2018-04-28
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公开(公告)号: CN108493268A公开(公告)日: 2018-09-04
- 发明人: 王宏兴 , 刘璋成 , 赵丹 , 张明辉 , 王玮 , 问峰 , 卜忍安 , 侯洵
- 申请人: 西安交通大学
- 申请人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- 代理机构: 陕西增瑞律师事务所
- 代理商 刘春
- 主分类号: H01L31/0224
- IPC分类号: H01L31/0224 ; H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种金刚石紫外探测器三维电极结构,包括层叠设置的单晶金刚石衬底和本征单晶金刚石外延层,的金刚石外延层表面向外凸出设置有若干条相互平行的金刚石条,的金刚石外延层表面还设置有分别用于作为正极和负极的两个金属电极pad;垂直穿过的金刚石条等距间隔设置有偶数个叉指电极,按照叉指电极的排列顺序依次定义叉指电极5的编号为1、2、3、…、n,则编号为奇数的叉指电极均连接至同一个金属电极pad4上,编号为偶数的叉指电极均连接至另一个金属电极pad上。解决了采用垂直三明治电极结构时衬底和薄膜分离难、载流子收集时间长和收集效率低的问题,同时,解决采用共平面叉指电极结构时电场均匀性不佳的问题,从而提高探测器的响应度和时间响应性能。
公开/授权文献
- CN108493268B 一种金刚石紫外探测器三维电极结构及其制作方法 公开/授权日:2019-10-01
IPC分类: