一种金刚石紫外探测器三维电极结构及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种金刚石紫外探测器三维电极结构,包括层叠设置的单晶金刚石衬底和本征单晶金刚石外延层,的金刚石外延层表面向外凸出设置有若干条相互平行的金刚石条,的金刚石外延层表面还设置有分别用于作为正极和负极的两个金属电极pad;垂直穿过的金刚石条等距间隔设置有偶数个叉指电极,按照叉指电极的排列顺序依次定义叉指电极5的编号为1、2、3、…、n,则编号为奇数的叉指电极均连接至同一个金属电极pad4上,编号为偶数的叉指电极均连接至另一个金属电极pad上。解决了采用垂直三明治电极结构时衬底和薄膜分离难、载流子收集时间长和收集效率低的问题,同时,解决采用共平面叉指电极结构时电场均匀性不佳的问题,从而提高探测器的响应度和时间响应性能。
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