一种高精度激光测量系统的误差检测和分离方法
摘要:
本发明公开了一种高精度激光测量系统的误差检测和分离方法,高精度激光测量的激光束漂移误差,包括激光束的平漂、角漂、随机漂移等和测量系统结构误差,指系统结构、工装受环境影响产生的微小形变;会严重影响激光精密测的准确性和稳定性。本发明通过建立精密激光测量系统误差的数学模型,利用激光源和四象限探测器组合的特殊装置对高精度激光测量系统总误差进行检测,进而计算和分离激光束漂移误差和系统结构误差。
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