利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册
发明授权
CN108602160B 激光加工机 有权

激光加工机
摘要：
一种激光加工机，其使用激光束对被加工物(W)进行加工，该激光加工机具备：第一棱镜(37)、第二棱镜(47)、第三棱镜(57)及第四棱镜(67)，从所述激光束的光路上游侧依次配置；第一主轴(32)、第二主轴(42)、第三主轴(52)及第四主轴(62)，独立地保持所述第一棱镜(37)、第二棱镜(47)、第三棱镜(57)及第四棱镜(67)；第一保持机构(31)、第二保持机构(41)、第三保持机构(51)及第四保持机构(61)，以分别能够旋转的方式保持所述第一主轴(32)、第二主轴(42)、第三主轴(52)及第四主轴(62)；第一马达(35)、第二马达(45)、第三马达(55)及第四马达(65)，由分别固定于所述第一主轴(32)、第二主轴(42)、第三主轴(52)及第四主轴(62)的转子(35b、45b、55b、65b)以及分别固定于所述第一保持机构(31)、第二保持机构(41)、第三保持机构(51)及第四保持机构(61)的定子(35a、45a、55a、65a)构成；及棱镜移动机构(101、102)，至少移动所述第一棱镜(37)或所述第二棱镜(47)中的至少一个。
摘要（英）：

Provided is a laser processing machine that processes a workpiece W using a laser beam. The laser processing machine comprises: first to fourth prisms 37, 47, 57, 67 that are disposed in order along an optical path of the laser beam from an upstream side; first to fourth spindles 32, 42, 52, 62 that respectively and independently hold the first to fourth prisms 37, 47, 57, 67; first to fourth holding means 31, 41, 51, 61 that respectively and rotatably hold the first to fourth spindles 32, 42, 52, 62; first to fourth motors 35, 45, 55, 65 that are respectively composed of rotors 35b, 45b, 55b, 65b that are respectively fixed to the first to fourth spindles 32, 42, 52, 62, and stators 35a, 45a, 55a, 65a that are respectively fixed to the first to fourth holding means 31, 41, 51, 61; and prism moving means 101, 102 that move the first prism 37 and/or the second prism 47.

公开/授权文献
0/0