激光加工装置及激光加工方法

    公开(公告)号:CN105829012A

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201480068854.1

    申请日:2014-07-30

    IPC分类号: B23K26/064 B23K26/08 G02B7/00

    摘要: 激光加工装置具备:第一光学系统(100),包括第一棱镜(101)及第二棱镜(102);第二光学系统(200),包括第三棱镜(201)及第四棱镜(202);聚光光学系统(80),对激光束进行聚光而向加工对象物引导;第一驱动装置(105),使第一棱镜旋转,并且与第一棱镜同步地使第二棱镜旋转;第二驱动装置(205),使第三棱镜旋转,并且与第三棱镜同步地使第四棱镜旋转;及控制装置(24),以使激光束一边回转一边向加工对象物照射的方式控制第一驱动装置及驱动装置,控制装置调整关于旋转方向的第一棱镜与第二棱镜的相对位置、及第三棱镜与第四棱镜的相对位置,来调整包括激光束相对于加工对象物的入射位置及入射角度在内的激光束的照射条件,由此高品质且高精度地对加工对象物进行加工。

    激光加工机
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108602160A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201780010246.9

    申请日:2017-02-13

    摘要: 一种激光加工机,其使用激光束对被加工物(W)进行加工,该激光加工机具备:第一棱镜(37)、第二棱镜(47)、第三棱镜(57)及第四棱镜(67),从所述激光束的光路上游侧依次配置;第一主轴(32)、第二主轴(42)、第三主轴(52)及第四主轴(62),独立地保持所述第一棱镜(37)、第二棱镜(47)、第三棱镜(57)及第四棱镜(67);第一保持机构(31)、第二保持机构(41)、第三保持机构(51)及第四保持机构(61),以分别能够旋转的方式保持所述第一主轴(32)、第二主轴(42)、第三主轴(52)及第四主轴(62);第一马达(35)、第二马达(45)、第三马达(55)及第四马达(65),由分别固定于所述第一主轴(32)、第二主轴(42)、第三主轴(52)及第四主轴(62)的转子(35b、45b、55b、65b)以及分别固定于所述第一保持机构(31)、第二保持机构(41)、第三保持机构(51)及第四保持机构(61)的定子(35a、45a、55a、65a)构成;及棱镜移动机构(101、102),至少移动所述第一棱镜(37)或所述第二棱镜(47)中的至少一个。

    激光加工机
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108602160B

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201780010246.9

    申请日:2017-02-13

    摘要: 一种激光加工机,其使用激光束对被加工物(W)进行加工,该激光加工机具备:第一棱镜(37)、第二棱镜(47)、第三棱镜(57)及第四棱镜(67),从所述激光束的光路上游侧依次配置;第一主轴(32)、第二主轴(42)、第三主轴(52)及第四主轴(62),独立地保持所述第一棱镜(37)、第二棱镜(47)、第三棱镜(57)及第四棱镜(67);第一保持机构(31)、第二保持机构(41)、第三保持机构(51)及第四保持机构(61),以分别能够旋转的方式保持所述第一主轴(32)、第二主轴(42)、第三主轴(52)及第四主轴(62);第一马达(35)、第二马达(45)、第三马达(55)及第四马达(65),由分别固定于所述第一主轴(32)、第二主轴(42)、第三主轴(52)及第四主轴(62)的转子(35b、45b、55b、65b)以及分别固定于所述第一保持机构(31)、第二保持机构(41)、第三保持机构(51)及第四保持机构(61)的定子(35a、45a、55a、65a)构成;及棱镜移动机构(101、102),至少移动所述第一棱镜(37)或所述第二棱镜(47)中的至少一个。