- 专利标题: 一种绿色无催化剂法制备氮化镓纳米线的方法
- 专利标题(英): Green catalyst-free method for preparing gallium nitride nanowires
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申请号: CN201810319100.9申请日: 2018-04-11
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公开(公告)号: CN108611679A公开(公告)日: 2018-10-02
- 发明人: 王如志 , 冯晓宇 , 姬宇航 , 张铭 , 王波 , 严辉
- 申请人: 北京工业大学
- 申请人地址: 北京市朝阳区平乐园100号
- 专利权人: 北京工业大学
- 当前专利权人: 北京工业大学
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区平乐园100号
- 代理机构: 北京思海天达知识产权代理有限公司
- 代理商 刘萍
- 主分类号: C30B25/00
- IPC分类号: C30B25/00 ; C30B29/40 ; C30B29/62
摘要:
一种绿色无催化剂制备氮化镓纳米线的方法,属于无机化合物半导体材料制备与生长方法领域。本发明通过等离子增强化学气相沉积系统(PECVD),在不使用任何催化剂条件下,以绿色无污染的N2作为氮源制备性能优异的一维线状的GaN纳米结构。本发明成本低廉,工艺简单,以抛光石墨为衬底,金属镓和碳粉为前驱体。在PECVD系统中,调节反应气压为30Pa-50Pa;反应温度为825℃-875℃;N2流速10-40cm3/min;H2流速5-10厘米cm3/min;射频电源功率80W-120W,反应1-3h得到产物。产物为六方纤锌矿结构的一维GaN纳米线,具有典型的紫光发光特征和优异的场发射性能。
公开/授权文献
- CN108611679B 一种绿色无催化剂法制备氮化镓纳米线的方法 公开/授权日:2020-06-16