一种绿色无催化剂法制备氮化镓纳米线的方法
摘要:
一种绿色无催化剂制备氮化镓纳米线的方法,属于无机化合物半导体材料制备与生长方法领域。本发明通过等离子增强化学气相沉积系统(PECVD),在不使用任何催化剂条件下,以绿色无污染的N2作为氮源制备性能优异的一维线状的GaN纳米结构。本发明成本低廉,工艺简单,以抛光石墨为衬底,金属镓和碳粉为前驱体。在PECVD系统中,调节反应气压为30Pa-50Pa;反应温度为825℃-875℃;N2流速10-40cm3/min;H2流速5-10厘米cm3/min;射频电源功率80W-120W,反应1-3h得到产物。产物为六方纤锌矿结构的一维GaN纳米线,具有典型的紫光发光特征和优异的场发射性能。
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