发明公开
CN108701596A 欧姆电极
审中-实审
- 专利标题： 欧姆电极
- 专利标题（英）： OHMIC ELECTRODE
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申请号： CN201780013111.8申请日： 2017-02-02
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公开(公告)号： CN108701596A公开(公告)日： 2018-10-23
- 发明人: 后藤裕史 , 坂本尚敏
- 申请人： 株式会社神户制钢所
- 申请人地址： 日本兵库县
- 专利权人： 株式会社神户制钢所
- 当前专利权人： 株式会社神户制钢所
- 当前专利权人地址： 日本兵库县
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 樊建中
- 优先权： 2016-032693 20160224 JP 2016-088311 20160426 JP
- 国际申请： PCT/JP2017/003816 2017.02.02
- 国际公布： WO2017/145694 JA 2017.08.31
- 进入国家日期： 2018-08-23
- 主分类号： H01L21/28
- IPC分类号： H01L21/28 ; H01L21/336 ; H01L29/12 ; H01L29/78
摘要：
利用了SiC基板的功率半导体装置等中使用的欧姆电极包括：欧姆接触层，其形成于SiC半导体层上，由从镍以及硅化镍所构成的组选择的材料构成；阻挡层，其形成于欧姆接触层上；和电极层，其形成于阻挡层上，由包含锌、镍、钛、锰、钙当中至少1种以上的铜合金构成。
IPC分类:
