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发明授权
CN108767088B 胶囊化基板、制造方法及具该基板的高能隙元件 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 胶囊化基板、制造方法及具该基板的高能隙元件
  • 申请号： CN201810480536.6
    申请日： 2018-05-18
  • 公开(公告)号： CN108767088B
    公开(公告)日： 2019-08-27
  • 发明人: 王晓靁 , 刘伯彦 , 宋高梅
  • 申请人： 王晓靁
  • 申请人地址： 中国台湾桃园市芦竹区吉林路132巷28号14楼
  • 专利权人： 王晓靁
  • 当前专利权人： 王晓靁
  • 当前专利权人地址： 中国台湾桃园市芦竹区吉林路132巷28号14楼
  • 代理机构： 厦门市新华专利商标代理有限公司
  • 代理商 渠述华
  • 优先权： 106122132 2017.06.30 TW
  • 主分类号： H01L33/48
  • IPC分类号： H01L33/48
胶囊化基板、制造方法及具该基板的高能隙元件
摘要：
本发明公开一胶囊化基板，包括：一氧化锌基板，具有作用面，是一个纤锌矿晶格结构的的氧化锌材料；一复合阻障层，包括：一层第一薄膜层，是一相异于氧化锌的第一材料；一层包覆上述第一薄膜层表面的第二薄膜层，是一相异于氧化锌及上述第一材料的第二材料；依序形成于上述第二薄膜层上的复数累加薄膜层，每一累加薄膜层是异于相邻的累加薄膜层和／或第二薄膜层；及一形成于上述复合阻障层、并对应上述作用面的主动层，该主动层具有一相异于氧化锌的作用材料。本发明透过复合阻障层提供多层材料界面，减少氧化锌基板原子扩散的自由度，达到阻障的效果。
摘要（英）：

An encapsulated substrate includes a zinc oxide substrate and a composite barrier layer. The composite barrier layer includes a first film layer having a first material different from zinc oxide, a second film layer covered on a surface of the first film layer and having a second material different from the zinc oxide and the first material, and an active layer formed on the composite barrier layer and corresponding to an acting surface of a zinc oxide substrate and having an acting material different from the zinc oxide.

公开/授权文献
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