- 专利标题: 用于受测试器件的模块化轨道系统、轨道系统、机构以及设备
-
申请号: CN201680082828.3申请日: 2016-12-28
-
公开(公告)号: CN108780122B公开(公告)日: 2019-09-03
- 发明人: 约翰·L·戴克李 , 威廉·A·芬克 , 布莱恩·J·鲁特
- 申请人: 塞莱敦系统股份有限公司
- 申请人地址: 美国明尼苏达州
- 专利权人: 塞莱敦系统股份有限公司
- 当前专利权人: 塞莱敦系统股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国明尼苏达州
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 何冲; 黄隶凡
- 优先权: 62/271,711 2015.12.28 US
- 国际申请: PCT/US2016/068950 2016.12.28
- 国际公布: WO2017/117257 EN 2017.07.06
- 进入国家日期: 2018-08-28
- 主分类号: G01R31/28
- IPC分类号: G01R31/28 ; G01R1/067
摘要:
本文中的系统、装置和方法可以提供多位点定位机构,该多位点定位机构适于在有或者没有受控环境的情况下跨一温度范围内对(一个或多个)受测试器件(DUT)(例如,半导体晶圆)进行长期测试。本文中的系统、装置和方法包括安装部件、机构和结构,这些安装部件、机构和结构可以提供极佳的机械稳定性,允许具有高分辨率的、相对较近工作距离的光学元件,使得在具有最小热扰动的受控环境中的高温下能够进行精密定位。本文中的系统、装置和方法可以具有模块化,例如,模块化以具有可以容易地添加或者移除且可以允许接入至密集堆积阵列中的探针模块的轨道和测试位点。
公开/授权文献
- CN108780122A 用于受测试器件的模块化轨道系统、轨道系统、机构以及设备 公开/授权日:2018-11-09