发明授权
- 专利标题: 用于提供均匀气流的设备与方法
-
申请号: CN201810659433.6申请日: 2012-10-19
-
公开(公告)号: CN108796472B公开(公告)日: 2023-06-30
- 发明人: J·约德伏斯基 , M·常 , F·京格尔 , P·F·马 , D·储 , C-T·考 , H·莱姆 , D-Y·吴
- 申请人: 应用材料公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 金红莲; 侯颖媖
- 主分类号: C23C16/455
- IPC分类号: C23C16/455 ; H01L21/205
摘要:
本发明涉及用于提供均匀气流的设备与方法。提供了一种具有输送通道的气体分配设备,其中输送通道具有一入口端、一出口端与沿着长度而分隔开的多个孔隙。入口端系可连接至一惰性气体源,且出口端系可连接于一真空源。同时提供了一种具有螺旋输送通道、互相缠绕的螺旋输送通道、分流的输送通道、汇合的输送通道、以及成形的输送通道的气体分配设备,其中入口端与出口端系配置以使气体在输送通道内快速交换。
公开/授权文献
- CN108796472A 用于提供均匀气流的设备与方法 公开/授权日:2018-11-13
IPC分类: