-
公开(公告)号：CN103890912B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201280051129.4
申请日：2012-10-19
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F17D3/00 , Y10T137/7833
摘要： 提供了一种具有输送通道的气体分配设备，其中输送通道具有一入口端、一出口端与沿着长度而分隔开的多个孔隙。入口端系可连接至一惰性气体源，且出口端系可连接于一真空源。同时提供了一种具有螺旋输送通道、互相缠绕的螺旋输送通道、分流的输送通道、汇合的输送通道、以及成形的输送通道的气体分配设备，其中入口端与出口端系配置以使气体在输送通道内快速交换。
-
公开(公告)号：CN107365977B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201710650874.5
申请日：2012-10-19
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本发明涉及用于提供均匀气流的设备与方法。提供了一种具有输送通道的气体分配设备，其中输送通道具有一入口端、一出口端与沿着长度而分隔开的多个孔隙。入口端系可连接至一惰性气体源，且出口端系可连接于一真空源。同时提供了一种具有螺旋输送通道、互相缠绕的螺旋输送通道、分流的输送通道、汇合的输送通道、以及成形的输送通道的气体分配设备，其中入口端与出口端系配置以使气体在输送通道内快速交换。
-
公开(公告)号：CN108796472B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN201810659433.6
申请日：2012-10-19
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C16/455 , H01L21/205
摘要： 本发明涉及用于提供均匀气流的设备与方法。提供了一种具有输送通道的气体分配设备，其中输送通道具有一入口端、一出口端与沿着长度而分隔开的多个孔隙。入口端系可连接至一惰性气体源，且出口端系可连接于一真空源。同时提供了一种具有螺旋输送通道、互相缠绕的螺旋输送通道、分流的输送通道、汇合的输送通道、以及成形的输送通道的气体分配设备，其中入口端与出口端系配置以使气体在输送通道内快速交换。
-
公开(公告)号：CN108796472A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810659433.6
申请日：2012-10-19
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C16/455 , H01L21/205
CPC分类号： F17D3/00 , C23C16/4412 , C23C16/45536 , C23C16/45544 , C23C16/45565 , C23C16/45578 , Y10T137/7833
摘要： 本发明涉及用于提供均匀气流的设备与方法。提供了一种具有输送通道的气体分配设备，其中输送通道具有一入口端、一出口端与沿着长度而分隔开的多个孔隙。入口端系可连接至一惰性气体源，且出口端系可连接于一真空源。同时提供了一种具有螺旋输送通道、互相缠绕的螺旋输送通道、分流的输送通道、汇合的输送通道、以及成形的输送通道的气体分配设备，其中入口端与出口端系配置以使气体在输送通道内快速交换。
-
公开(公告)号：CN107365977A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201710650874.5
申请日：2012-10-19
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： F17D3/00 , Y10T137/7833 , C23C16/455
摘要： 本发明涉及用于提供均匀气流的设备与方法。提供了一种具有输送通道的气体分配设备，其中输送通道具有一入口端、一出口端与沿着长度而分隔开的多个孔隙。入口端系可连接至一惰性气体源，且出口端系可连接于一真空源。同时提供了一种具有螺旋输送通道、互相缠绕的螺旋输送通道、分流的输送通道、汇合的输送通道、以及成形的输送通道的气体分配设备，其中入口端与出口端系配置以使气体在输送通道内快速交换。
-
公开(公告)号：CN103890912A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201280051129.4
申请日：2012-10-19
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F17D3/00 , Y10T137/7833
摘要： 提供了一种具有输送通道的气体分配设备，其中输送通道具有一入口端、一出口端与沿着长度而分隔开的多个孔隙。入口端系可连接至一惰性气体源，且出口端系可连接于一真空源。同时提供了一种具有螺旋输送通道、互相缠绕的螺旋输送通道、分流的输送通道、汇合的输送通道、以及成形的输送通道的气体分配设备，其中入口端与出口端系配置以使气体在输送通道内快速交换。
-
-
-
-
-
搜索结果
6 条记录 (耗时 0.02 秒)
