本发明提供一种阵列基板及其制造方法、显示装置。阵列基板包括数据线，所述数据线是由导电区域和绝缘区域组成的复合结构，所述导电区域和绝缘区域沿所述数据线的宽度方向分布。所述导电区域的材料包括金属，所述绝缘区域的材料包括金属化合物，所述金属化合物通过对所述金属进行等离子处理获得。本发明通过在数据线的宽度方向上将数据线设计成由绝缘区域和导电区域组成的复合结构，能够同时减小数据线与公共电极之间、数据线与像素电极之间的耦合电容，在保证数据线关键尺寸和良品率的前提下，大幅度提升了产品品质和性能。