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CN108885409A 用于检测多重图案化制造装置中与重叠相关的缺陷的设计感知系统、方法及计算机程序产品 有权

  • 专利标题： 用于检测多重图案化制造装置中与重叠相关的缺陷的设计感知系统、方法及计算机程序产品
  • 申请号： CN201780022627.9
    申请日： 2017-04-05
  • 公开(公告)号： CN108885409A
    公开(公告)日： 2018-11-23
  • 发明人: K·沙赫 , A·克罗斯
  • 申请人： 科磊股份有限公司
  • 申请人地址： 美国加利福尼亚州
  • 专利权人： 科磊股份有限公司
  • 当前专利权人： 科磊股份有限公司
  • 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
  • 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
  • 代理商 张世俊
  • 优先权： 62/320,612 20160410 US 15/290,990 20161011 US
  • 国际申请： PCT/US2017/026207 2017.04.05
  • 国际公布： WO2017/180397 EN 2017.10.19
  • 进入国家日期： 2018-10-09
  • 主分类号： G03F7/20
  • IPC分类号： G03F7/20
用于检测多重图案化制造装置中与重叠相关的缺陷的设计感知系统、方法及计算机程序产品
摘要：
本发明提供一种用于检测多重图案化制造装置中与重叠相关的缺陷的设计感知系统、方法及计算机程序产品。在使用期间，由计算机系统接收多重图案化制造装置的设计。接着，所述计算机系统自动从所述设计确定所述设计的易于引起重叠误差的一或多个区域。此外，由所述计算机系统将所确定的一或多个区域的指示输出到检验系统以用于检验根据所述设计制造的多重图案化装置。
摘要（英）：

A design aware system, method, and computer program product are provided for detecting overlay-related defects in multi-patterned fabricated devices. In use, a design of a multi-patterned fabricated device is received by a computer system. Then, the computer system automatically determines from the design one or more areas of the design that are prone to causing overlay errors. Further, an indication of the determined one or more areas is output by the computer system to an inspection system for use in inspecting a multi-patterned device fabricated in accordance with the design.

公开/授权文献
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