一种动力学驱动的超精密运动系统详细方案设计方法与系统
摘要:
本发明公开了一种动力学驱动的超精密运动系统详细方案设计方法与系统。本发明的方法提出在任何具体设计阶段,从系统全局出发,针对系统方案和/或关键组件的设计与修改,对系统方案进行动力学建模、仿真与分析,以分析结果为依据,驱动设计进程;关键组件、子系统和/或系统方案的建模、仿真与分析操作,由对应的流程控制、引导,可获得设计资料和工具的支持;利用模型模板,完成关键组件和/或子系统的动态特性分析和等效建模。本发明的系统为上述方法提供工具支持,包括:流程控制与数据管理器、系统模型组装平台、系统模型仿真器、后处理分析工具集、实例数据管理中心、模板管理中心、模板创成器、模型生成器、仿真试验管理中心、求解器。
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